SICERA® Smart KZ-16 低温泵
关于 KZ-16
SICERA® Smart KZ-16 低温泵是住友重工业株式会社 SICERA Smart 系列中的中型型号之一。KZ-16 专为 PVD 应用而设计，其独特的双变频技术为客户提供了更高的生产率和节能效果，在正常热负荷运行下，每台压缩机最多可连接五 (5) 台低温泵。
标准供货范围
- KZ-16 低温泵
- CSW-61C/D 压缩机
- 低温泵远程控制器，带 RS-485 电缆
- 柔性管道
- 电力电缆
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规格
| Model | 用于PVD的KZ-16 | |
| 泵送速度 | 水 | 18,000 升/秒 |
| 氩气 | 4,200 升/秒 | |
| 氮 | 5,000 升/秒 | |
| 氢气 | 7,600 升/秒 | |
| 吞吐量 | 氩气 | 1,2 Pa•m3/s (700 sccm) |
| 吸附能力 | 氩气 | 11,000 标升 |
| 氢气 | 28 标升 | |
| 交叉评级 | 40.0 Pa•m3/s | |
| 基准压力 | <1.0E-6 Pa | |
| 温度下降至20 K所用时间1 | ≤160分钟 | |
| 温度上升至290 K所用时间1 | ≤65分钟 2 | |
| 重量 | 59 kg | |
| 尺寸 (长x宽x高) | 793 x 522 x 446 mm | |
| 法兰接口 | ISO 400 (夹紧连接法兰) | |
| 维护 | 12,000小时 | |
2 若未吸收气体，升温至 280 K 所需的时间。
规格如有更改，恕不另行通知
