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SICERA® Ultra KV-12 低温泵

关于 KV-12

SICERA® Ultra KV-12 低温泵是住友重工业株式会社 SICERA Ultra 系列中最大的型号,包含两个专为离子注入应用设计的版本。与前代型号相比,KV-12 降低了压缩机功耗,并提升了低温泵的气体容量。

其独特的双变频技术提供了更高的生产率和节能效果,在正常热负荷运行下,最多允许五 (5) 台低温泵与一 (1) 台 TM-30 压缩机配对,或 11 台低温泵与一 (1) 台 TM-50 压缩机配对。

标准供货范围

  • KV-12 低温泵
  • TM-30 或 TM-50 压缩机
  • 低温泵远程控制器,带 RS-485 电缆
  • 柔性管道
  • 电力电缆

对此产品感兴趣? 请致电当地业务据点以获取更多信息。

规格

型号KV-12 LowKV-12 High
泵送速度水 11,000 升/秒
氩气4,200 升/秒4,300 升/秒
氮5,000 升/秒5,200 升/秒
氢气13,300 升/秒15,000 升/秒
氢气容量40 标升45 标升
交叉评级40.0 Pa•m3
基准压力<5.0E-6 Pa
恢复时间<165分钟<225分钟
重量40 kg44 kg
尺寸 (长x宽x高)710 x 480 x 285 mm710 x 480 x 350 mm
法兰接口ISO 320 (夹紧连接法兰)
维护12,000小时

规格如有更改,恕不另行通知

资源

  • SICERA Ultra KV-12 Cryopump Low Outline Drawing下载
  • SICERA Ultra KV-12 Cryopump High Outline Drawing下载
  • SICERA Cryopumps and Cold Traps Brochure – English – Letter下载
  • SICERA Cryopumps and Cold Traps Brochure – English – A4下载
  • Basics of Cryopumping Booklet English 4.18下载

应用