半导体服务
半导体工厂在工艺可靠性和制造效率方面的提升，使得对低温泵系统（晶圆制造设备中的关键组件）的需求日益增加。
SHI 的 SICERA® 低温泵和冷阱提供多种服务与支持方案，旨在最大程度延长正常运行时间，同时确保将对生产流程的干扰降至最低。
为满足大规模生产的需求，SICERA 产品具有以下特点：
- 拥有庞大的周转备件库，可最大限度减少维护期间的生产中断
- 具备自诊断功能，使用户能够预判预防性维护需求
- 维护和维修后仍有可靠的长使用寿命
- 使用全新零件维修产品 — 我们不使用其他设备的零件代替
- 只有原始设备制造商 (OEM) 才能提供的技术支持
- 原厂全面保修
需要半导体服务支持？欢迎垂询。
我们受过原厂培训的技术人员和服务支持团队常驻全球战略服务中心，提供 24/7 全天候待命支持。
查找离您最近的服务中心或填写我们的联系表单。
请在下面选择您的产品类型，进一步了解我们的服务和支持方案：
SICERA® 系列低温泵和冷阱服务方案
SICERA 产品可送回 SHI 服务中心进行日常维护、检修或全面翻新。此外，还提供“交换单元”形式的备用泵、冷阱和压缩机。客户只需安装交换单元，送回的单元经翻新后将作为库存备用，以供下次交换使用。
在 SHI 服务中心进行的产品维修和翻新服务包括：
- 检查所有内部组件的流路状况，以确保最佳制冷能力
- 必要时更换必要易损件 — 密封件、阀盘、阀杆、毛细管和置换器
- 按照出厂标准进行性能测试
- 进行泄漏检查，包括压力测试和真空完整性测试（如适用）
- 更换或修复真空组件—斜纹挡板，一级低温面板，二级活性炭阵列（如需要）
压缩机服务方案
许多常规维护任务（如更换吸附器和进行泄漏检查）均可由客户或经 SHI 工厂培训的技术人员在现场完成。如果将产品送回 SHI 服务中心进行维修与翻新，服务内容包括：
- 全面诊断评估 — 机械、电气、流量置换及水分含量
- 电机封装更换（如需要）
- 热交换器更换（如需要）
- 吸附器更换
- 所有系统组件的低温气体清洁
- 泄漏测试
- 按照出厂标准进行性能测试