SICERA® 低温泵和冷阱

SICERA® 系统提供当今半导体晶圆厂和研究环境所需的性能、可靠性和能源效率。SICERA 系统在 PVD、离子注入和其他高真空应用中得到了验证，旨在实现无缝集成、长运行时间并降低总拥有成本。