首页 > 低温泵 > SICERA® 低温泵和冷阱 > SICERA® 低温泵 > SICERA® Smart KZ-12 低温泵

SICERA® Smart KZ-12 低温泵 Image 1

SICERA® Smart KZ-12 低温泵

关于 KZ-12

SICERA® Smart KZ-12 低温泵是住友重工业株式会社 SICERA Smart 系列中的中型型号之一。KZ-12 拥有专为 PVD 或离子注入应用设计的版本，其独特的双变频技术为客户提供了更高的生产率和节能效果，在正常热负荷运行下，每台压缩机最多可连接五 (5) 台低温泵。

标准供货范围

KZ-12 低温泵
CSW-61C/D 压缩机
低温泵远程控制器，带 RS-485 电缆
柔性管道
电力电缆

探索：

规格资源应用

对此产品感兴趣？ 请致电当地业务据点以获取更多信息。

查找当地业务据点索取报价

规格

Model		用于PVD的KZ-12	用于离子注入的KZ-12
泵送速度	水	11,000 升/秒
	氩气	3,000 升/秒	3,470 升/秒
	氮	3,600 升/秒	4,470 升/秒
	氢气	4,800 升/秒	11,330 升/秒
吞吐量	氩气	0.8 Pa•m³/s (500 sccm)	1.5 Pa•m³/s (900 sccm)
吸附能力	氩气	5,000标升	-
吸附能力	氢气	16 标升	35 标升
交叉评级		20.0 Pa•m³/s
基准压力		<1.0E-6 Pa	<5.0E-6 Pa
温度下降至20 K所用时间		≤130分钟	≤170分钟
温度上升至290 K所用时间¹		≤60分钟	≤35分钟²
重量		53 kg	32 kg
尺寸 (长x宽x高)		735 x 509 x 392 mm	673 x 500 x 285 mm
法兰接口		ISO 320 (螺栓连接法兰)	ISO 320 (夹紧连接法兰)
维护		12,000小时

1 氮气吹扫的供应压力为 0.55MPaG。无冷凝气体。
2 Warmup time to 280 K, if gas is not absorbed.

规格如有更改，恕不另行通知

资源

KZ-12BAL0E0B3-0_2D_Outline-Drawing下载
SICERA Cryopumps and Cold Traps Brochure – English – Letter下载
SICERA Cryopumps and Cold Traps Brochure – English – A4下载
Basics of Cryopumping Booklet English 4.18下载

应用

压缩机选项

<

>