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SICERA® Smart KZ-08 低温泵

关于 KZ-08

SICERA® Smart KZ-08 低温泵是住友重工业株式会社 SICERA Smart 系列中最小的型号。KZ-08 专为 PVD 应用而设计，其独特的双变频技术为客户提供了更高的生产率和节能效果，在正常热负荷运行下，每台压缩机最多可带动五 (5) 台低温泵。

标准供货范围

KZ-08 低温泵
CSW-61C/D 压缩机
低温泵远程控制器，带 RS-485 电缆
柔性管道
电力电缆

探索：

规格资源应用

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规格

泵送速度	水	4,000 升/秒
	氩气	1,200 升/秒
	氮	1,500 升/秒
	氢气	2,200 升/秒
吞吐量	氩气	1.2 Pa•m³/s (700 sccm)
吸附能力	氩气	1,600 标升
	氢气	12 标升
交叉评级		20.0 Pa•m³
基准压力		<5E-7 Pa
温度下降至20 K所用时间¹		≤75分钟
温度上升至290 K所用时间¹		≤45分钟
重量		28 kg
尺寸 (长x宽x高)		613 x 397 x 230 mm
法兰接口		ICF253
维护		12,000小时

1 无论有多少台低温泵在运行。

规格如有更改，恕不另行通知

资源

KZ-08FCL0A0A3-0_2D_Outline-Drawing下载
SICERA Cryopumps and Cold Traps Brochure – English – Letter下载
SICERA Cryopumps and Cold Traps Brochure – English – A4下载
Basics of Cryopumping Booklet English 4.18下载

应用

压缩机选项

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