SICERA® Smart KZ-16 クライオポンプ
KZ-16について
SICERA® Smart KZ-16クライオポンプは、住友重機械工業株式会社のSICERA Smartシリーズにおける中型モデルの一つです。PVD用途向けに設計されたKZ-16は、独自のダブルインバータ技術により、お客様に高い生産性と省エネルギーを提供し、通常の熱負荷運転下で圧縮機1台につき最大5台のクライオポンプの接続が可能です。
標準構成品
- KZ-16 クライオポンプ
- CSW-61C/D 圧縮機
- RS-485ケーブル付きリモートクライオポンプコントローラ
- フレキシブルホース
- 入力電源ケーブル
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仕様
| Model | PVD用KZ-16 | |
| ポンプ速度 | 水 | 18,000 L/s |
| アルゴン | 4,200 L/s | |
| 窒素 | 5,000 L/s | |
| 水素 | 7,600 L/s | |
| スループット | アルゴン | 1,2 Pa•m3/s (700 sccm) |
| 排気容量 | アルゴン | 11,000 Std L |
| 水素 | 28 Std L | |
| クロスオーバー | 40.0 Pa•m3/s | |
| 基本圧力 | <1.0E-6 Pa | |
| クールダウンタイム20 Kまで1 | ≤160分 | |
| ウォームアップタイム290 Kまで1 | ≤65分2 | |
| 重量 | 59 kg | |
| 寸法 (長さx横幅x高さ) | 793 x 522 x 446 mm | |
| 取付フランジ | ISO 400 (クランプ式フランジ接続) | |
| 推奨メンテナンス時間 | 12,000時間 | |
2 ガスが吸収されていない場合の、280 Kまでのウォームアップ時間。
仕様は予告なく変更される場合があります
