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SICERA® Smart KZ-10 低温泵

关于 KZ-10

SICERA® Smart KZ-10 低温泵是住友重工业株式会社 SICERA Smart 系列中的中型型号之一。KZ-10 拥有专为 PVD 或离子注入应用设计的版本，其独特的双变频技术为客户提供了更高的生产率和节能效果，在正常热负荷运行下，每台压缩机最多可连接五 (5) 台低温泵。

标准供货范围

KZ-10 低温泵
CSW-61C/D 压缩机
低温泵远程控制器，带 RS-485 电缆
柔性管道
电力电缆

探索：

规格资源应用

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规格

Model		用于PVD的KZ-10	用于离子注入的KZ-10
泵送速度	水	6,500 升/秒
	氩气	1,900 升/秒	1,990 升/秒
	氮	2,300 升/秒	2,650 升/秒
	氢气	1,800 升/秒	6,360 升/秒
吞吐量	氩气	1.2 Pa•m³/s (700 sccm)	1.0Pa•m³/s (600 sccm)
吸附能力	氩气	2,000 标升	-
	氢气	16 标升	24 标升
交叉评级		20.0 Pa•m³
基准压力		<1.0E-6 Pa	<5.0E-6 Pa
温度下降至20 K所用时间		≤85分钟	≤130分钟
温度上升至290 K所用时间		≤45分钟¹	≤35分钟²
重量		26 kg	28 kg
尺寸 (长x宽x高)		631 x 493 x 239 mm	632 x 460 x 279 mm
法兰接口		ISO 250 (夹紧连接法兰)
维护		12,000小时

1 氮气吹扫的供应压力为 0.55MPaG。无冷凝气体。
2 若未吸收气体，升温至 280 K 所需的时间。

规格如有更改，恕不另行通知

资源

KZ-10SCL0A0B3-0_2D_Outline-Drawing下载
SICERA Smart KZ-10 Cryopump Outline Drawing (I/I)下载
SICERA Cryopumps and Cold Traps Brochure – English – Letter下载
SICERA Cryopumps and Cold Traps Brochure – English – A4下载
Basics of Cryopumping Booklet English 4.18下载

应用

压缩机选项

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