SICERA® Ultra KV-10 低温泵
关于 KV-10
SICERA® Ultra KV-10 低温泵是住友重工业株式会社 SICERA Ultra 系列中的中型型号，专为 PVD 应用而设计。与之前的型号相比，KV-10 降低了压缩机功耗，并提高了低温泵的气体容量。
其独特的双变频技术提供了更高的生产率和节能效果，在正常热负荷运行下，最多允许五 (5) 台低温泵与一 (1) 台 TM-30 压缩机配对，或 11 台低温泵与一 (1) 台 TM-50 压缩机配对。
标准供货范围
- KV-10 低温泵
- TM-30 或 TM-50 压缩机
- 低温泵远程控制器，带 RS-485 电缆
- 柔性管道
- 电力电缆
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规格
| 泵送速度 | 水 | 6,500 升/秒 |
| 氩气 | 1,900 升/秒 | |
| 氮 | 2,300 升/秒 | |
| 氢气 | 1,800 升/秒 | |
| 吞吐量 | 氩气 | 1.2 Pa•m3/s (700 sccm) |
| 吸附能力 | 氩气 | 2,000 标升 |
| 氢气 | 16 标升 | |
| 交叉评级 | 20.0 Pa•m3 | |
| 基准压力 | <5.0E-6 Pa | |
| 温度下降至20 K所用时间1 | ≤85分钟 | |
| 温度上升至290 K所用时间1 | ≤45分钟 | |
| 重量 | 31 kg | |
| 尺寸 (长x宽x高) | 654 x 335 x 454 mm | |
| 法兰接口 | ISO 250 (螺栓连接法兰) | |
| 维护 | 12,000小时 | |
规格如有更改，恕不另行通知
