半導体サービス
半導体ファブにおけるプロセスの信頼性と製造効率の向上により、ウェーハ製造装置の主要コンポーネントであるクライオポンプシステムに対する需要が高まっています。
SICERA®クライオポンプおよびコールドトラップ向けのサービスとサポートのオプションにより、製造プロセスへの影響を最小限に抑えながら、稼働時間を最大化できます。
大量生産の需要に応えるため、SICERA製品は以下の特徴を備えています。
- サービス期間中のダウンタイムを最小限に抑えるための豊富な交換用ユニットの在庫
- ユーザーが予防保守の必要性を予測できる自己診断機能
- オーバーホールおよび修理製品における信頼性の高い長寿命
- 新品の部品を使用した製品の再構築（他のユニットからの部品流用は行いません）
- OEMのみが提供できるテクニカルサポート
- メーカーによる包括的な保証
半導体サービスサポートが必要ですか？ぜひご相談ください。
当社の工場でトレーニングを受けた技術者とサービスサポートメンバーは、世界各地に戦略的に配置されたサービスセンターに配置されており、24時間年中無休のオンコールサポートを提供しています。
最寄りのサービスセンターを検索するか、お問い合わせフォームにご記入ください。
以下の製品タイプを選択して、当社のサービスおよびサポートオプションの詳細をご確認ください。
SICERA®シリーズクライオポンプおよびコールドトラップのサービスオプション
SICERA製品は、SHIのサービスセンターに返却することで定期メンテナンス、修理、または完全なオーバーホール（リフレッシュ）を受けることができます。追加のポンプ、コールドトラップ、およびコンプレッサーを「交換ユニット」として利用可能です。交換ユニットの使用中に返却されたユニットが整備され、次の交換に備えて「棚に保管」されます。
SHIサービスセンターで行われる製品の修理およびリフレッシュ作業には、以下が含まれます。
- 最適な冷凍能力を確保するためのすべての内部部品のフローチェック
- 必要な摩耗部品（シール、バルブディスク、バルブステム、キャピラリ、ディスプレーサ）の交換（必要な場合）
- 工場仕様に対する性能テスト
- 加圧状態および真空保持性能のリークチェック（該当する場合）
- 真空コンポーネント（シェブロン、第1段クライオパネル、第2段活性炭アレイ）の交換または修理（必要な場合）
圧縮機サービスオプション
アドソーバーの交換やリークチェックなどの多くの軽微なメンテナンス作業は、お客様自身またはSHIの工場でトレーニングを受けた技術者がオンサイトで実施できます。SHIのサービスセンターに返却された場合、製品の修理およびリフレッシュ作業には以下が含まれます。
- 完全な診断レビュー（機械、電気、流量変位、水分含有量）
- モーターカプセルの交換（必要な場合）
- 熱交換器の交換（必要な場合）
- アドソーバーの交換
- すべてのシステムコンポーネントの極低温ガスクリーニング
- リークテスト
- 工場仕様に対する性能テスト