SICERA® Ultra KV-10 クライオポンプ
KV-10について
SICERA® Ultra KV-10 クライオポンプは、住友重機械工業株式会社のSICERA Ultraシリーズにおける中型モデルで、PVD用途向けに設計されています。KV-10は、従来モデルと比べて圧縮機の消費電力を低減し、クライオポンプのガス容量を増加させています。
独自のダブルインバータ技術により、通常熱負荷運転において、1台のTM-30圧縮機に最大5台、または1台のTM-50圧縮機に11台のクライオポンプを接続でき、高い生産性と省エネを実現します。
標準構成品
- KV-10 クライオポンプ
- TM-30またはTM-50圧縮機
- RS-485ケーブル付きリモートクライオポンプコントローラ
- フレキシブルホース
- 入力電源ケーブル
この製品に関心がありますか？ 詳細については、お近くの事業所にお問い合わせください。
仕様
| ポンプ速度 | 水 | 6,500 L/s |
| アルゴン | 1,900 L/s | |
| 窒素 | 2,300 L/s | |
| 水素 | 1,800 L/s | |
| スループット | アルゴン | 1.2 Pa•m3/s (700 sccm) |
| 排気容量 | アルゴン | 2,000 Std L |
| 水素 | 16 Std L | |
| クロスオーバー | 20.0 Pa•m3 | |
| 基本圧力 | <5.0E-6 Pa | |
| クールダウンタイム20 Kまで1 | ≤85分 | |
| ウォームアップタイム290 Kまで1 | ≤45分 | |
| 重量 | 31 kg | |
| 寸法 (長さx横幅x高さ) | 654 x 335 x 454 mm | |
| 取付フランジ | ISO 250 (ボルト締めフランジ接続) | |
| 推奨メンテナンス時間 | 12,000時間 | |
仕様は予告なく変更される場合があります
