SICERA® Ultra KV-12 クライオポンプ
KV-12について
SICERA® Ultra KV-12 クライオポンプは、住友重機械工業株式会社のSICERA Ultraシリーズにおける最大モデルであり、イオン注入用途に特化して設計された2つのバージョンで構成されています。KV-12は従来モデルと比較して、圧縮機の消費電力低減とクライオポンプのガス排気容量向上を実現しています。
独自のダブルインバータ技術により、通常熱負荷運転において、1台のTM-30圧縮機に最大5台、または1台のTM-50圧縮機に11台のクライオポンプを接続でき、高い生産性と省エネを実現します。
標準構成品
- KV-12 クライオポンプ
- TM-30またはTM-50圧縮機
- RS-485ケーブル付きリモートクライオポンプコントローラ
- フレキシブルホース
- 入力電源ケーブル
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仕様
| モデル | KV-12 Low | KV-12 High | |
| ポンプ速度 | 水 | 11,000 L/s | |
| アルゴン | 4,200 L/s | 4,300 L/s | |
| 窒素 | 5,000 L/s | 5,200 L/s | |
| 水素 | 13,300 L/s | 15,000 L/s | |
| 水素貯蔵容量 | 40 Std L | 45 Std L | |
| クロスオーバー | 40.0 Pa•m3 | ||
| 基本圧力 | <5.0E-6 Pa | ||
| 再生時間 | <165分 | <225分 | |
| 重量 | 40 kg | 44 kg | |
| 寸法 (長さx横幅x高さ) | 710 x 480 x 285 mm | 710 x 480 x 350 mm | |
| 取付フランジ | ISO 320 (クランプ式フランジ接続) | ||
| 推奨メンテナンス時間 | 12,000時間 | ||
仕様は予告なく変更される場合があります
