SICERA® クライオポンプおよびコールドトラップ

SICERA®システムは、今日の半導体製造施設や研究環境が求める性能、信頼性、エネルギー効率を実現します。PVD、イオン注入、その他の高真空用途で実証されたSICERAシステムは、シームレスな統合、長時間稼働、総所有コストの削減を実現するよう設計されています。