SICERA® Smart KZ-08 クライオポンプ
KZ-08について
SICERA® Smart KZ-08クライオポンプは、住友重機械工業株式会社のSICERA Smartシリーズで最小のモデルです。PVD用途向けに設計されたKZ-08は、独自のダブルインバータ技術により、お客様に高い生産性と省エネルギーを提供し、通常の熱負荷運転下で圧縮機1台につき最大5台のクライオポンプの接続が可能です。
標準構成品
- KZ-08 クライオポンプ
- CSW-61C/D 圧縮機
- RS-485ケーブル付きリモートクライオポンプコントローラ
- フレキシブルホース
- 入力電源ケーブル
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仕様
| ポンプ速度 | 水 | 4,000 L/s |
| アルゴン | 1,200 L/s | |
| 窒素 | 1,500 L/s | |
| 水素 | 2,200 L/s | |
| スループット | アルゴン | 1.2 Pa•m3/s (700 sccm) |
| 排気容量 | アルゴン | 1,600 Std L |
| 水素 | 12 Std L | |
| クロスオーバー | 20.0 Pa•m3 | |
| 基本圧力 | <5E-7 Pa | |
| クールダウンタイム20 Kまで1 | ≤75分 | |
| ウォームアップタイム290 Kまで1 | ≤45分 | |
| 重量 | 28 kg | |
| 寸法 (長さx横幅x高さ) | 613 x 397 x 230 mm | |
| 取付フランジ | ICF253 | |
| 推奨メンテナンス時間 | 12,000時間 | |
仕様は予告なく変更される場合があります
