SICERA® Smart KZ-10 クライオポンプ
KZ-10について
SICERA® Smart KZ-10クライオポンプは、住友重機械工業株式会社のSICERA Smartシリーズにおける中型モデルの一つです。PVDやイオン注入用途向けに特別設計されたバージョンを備え、KZ-10独自のダブルインバータ技術は、お客様に高い生産性と省エネ性を提供し、通常熱負荷運転下で1台の圧縮機につき最大5台のクライオポンプの接続を可能にします。
標準構成品
- KZ-10 クライオポンプ
- CSW-61C/D 圧縮機
- RS-485ケーブル付きリモートクライオポンプコントローラ
- フレキシブルホース
- 入力電源ケーブル
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仕様
| Model | PVD用KZ-10 | イオン注入用KZ-10 | |
| ポンプ速度 | 水 | 6,500 L/s | |
| アルゴン | 1,900 L/s | 1,990 L/s | |
| 窒素 | 2,300 L/s | 2,650 L/s | |
| 水素 | 1,800 L/s | 6,360 L/s | |
| スループット | アルゴン | 1.2 Pa•m3/s (700 sccm) | 1.0Pa•m3/s (600 sccm) |
| 排気容量 | アルゴン | 2,000 Std L | - |
| 水素 | 16 Std L | 24 Std L | |
| クロスオーバー | 20.0 Pa•m3 | ||
| 基本圧力 | <1.0E-6 Pa | <5.0E-6 Pa | |
| クールダウンタイム20 Kまで | ≤85分 | ≤130分 | |
| ウォームアップタイム290 Kまで | ≤45分1 | ≤35分2 | |
| 重量 | 26 kg | 28 kg | |
| 寸法 (長さx横幅x高さ) | 631 x 493 x 239 mm | 632 x 460 x 279 mm | |
| 取付フランジ | ISO 250 (クランプ式フランジ接続) | ||
| 推奨メンテナンス時間 | 12,000時間 | ||
2 ガスが吸収されていない場合の、280 Kまでのウォームアップ時間。
仕様は予告なく変更される場合があります
