SICERA® Smart KZ-12 クライオポンプ
KZ-12について
SICERA® Smart KZ-12クライオポンプは、住友重機械工業株式会社のSICERA Smartシリーズにおける中型モデルの一つです。PVDやイオン注入用途向けに特別設計されたバージョンを備え、KZ-12独自のダブルインバータ技術は、お客様に高い生産性と省エネ性を提供し、通常熱負荷運転下で1台の圧縮機につき最大5台のクライオポンプの接続を可能にします。
標準構成品
- KZ-12 クライオポンプ
- CSW-61C/D 圧縮機
- RS-485ケーブル付きリモートクライオポンプコントローラ
- フレキシブルホース
- 入力電源ケーブル
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仕様
| Model | PVD用KZ-12 | イオン注入用KZ-12 | |
| ポンプ速度 | 水 | 11,000 L/s | |
| アルゴン | 3,000 L/s | 3,470 L/s | |
| 窒素 | 3,600 L/s | 4,470 L/s | |
| 水素 | 4,800 L/s | 11,330 L/s | |
| スループット | アルゴン | 0.8 Pa•m3/s (500 sccm) | 1.5 Pa•m3/s (900 sccm) |
| 排気容量 | アルゴン | 5,000 standard liters | - |
| 水素 | 16 Std L | 35 Std L | |
| クロスオーバー | 20.0 Pa•m3/s | ||
| 基本圧力 | <1.0E-6 Pa | <5.0E-6 Pa | |
| クールダウンタイム20 Kまで | ≤130分 | ≤170分 | |
| ウォームアップタイム290 Kまで1 | ≤60分 | ≤35分2 | |
| 重量 | 53 kg | 32 kg | |
| 寸法 (長さx横幅x高さ) | 735 x 509 x 392 mm | 673 x 500 x 285 mm | |
| 取付フランジ | ISO 320 (ボルト締めフランジ接続) | ISO 320 (クランプ式フランジ接続) | |
| 推奨メンテナンス時間 | 12,000時間 | ||
2 ガスが吸収されていない場合の、280 Kまでのウォームアップ時間。
仕様は予告なく変更される場合があります
