Marathon® CP-8 クライオポンプ
Marathon® CP-8について
Marathon CP-8クライオポンプは、住友重機械工業株式会社のMarathon CPシリーズにおける最小クラスのクライオポンプです。住友重機械工業株式会社のCH-204 10K冷凍機を採用し、Displex®空気圧駆動技術により冷凍機内の摩耗部品数を削減しています。真空を破ったりチャンバーからポンプを取り外すことなく、現場でのメンテナンスが可能です。水冷式ヘリウム圧縮機で動作します。
特長
- 業界標準フランジ
- 標準手動操作
- Marathon®クライオポンプコントローラによるオプション完全自動操作
- 1台のF-70L/H圧縮機で2台のクライオポンプを運転
- Displex®技術
標準構成品
- CP-8 クライオポンプ
- F-20LまたはF-70L/H圧縮機
- 3 m フレキシブルホース
- 3 m コールドヘッドパワーケーブル
- ツールキット
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仕様
| ポンプ速度 | Air | 1,500 L/s |
| 水 | 4,200 L/s | |
| アルゴン | 1,250 L/s | |
| 水素 | 2,300 L/s | |
| スループット | アルゴン | 11.0 torr-L/s (870 sccm) |
| 排気容量 | アルゴン (at 1×10-6 torr) | 1,200 Std L |
| 水素(at 5×10-6 torr) | 25 Std L | |
| クロスオーバー | 220 torr-liters | |
| クールダウンタイム20 Kまで | 75分 | |
| 重量 | 16.8 kg | |
| 寸法 (H) | 516 mm | |
| 推奨メンテナンス時間 | 13,000時間 | |
仕様は予告なく変更される場合があります
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