Marathon® CP-12 クライオポンプ
Marathon® CP-12について
Marathon CP-12 クライオポンプは、住友重機械工業株式会社のMarathon CPシリーズにおける中型クライオポンプの一つです。本製品は、静音動作を実現するWhisper®技術と、冷凍機内の消耗部品を低減するDisplex®空圧駆動技術を採用した、住友重機械工業株式会社のCH-208L 10K 冷凍機を搭載しています。真空を破ることやチャンバーからポンプを取り外すことなく、現場でのメンテナンスが可能です。また、水冷式ヘリウム圧縮機で作動します。
特長
- 業界標準フランジ
- 標準手動操作
- Marathon®クライオポンプコントローラによるオプション完全自動操作
- Displex®およびWhisper®技術
標準構成品
- CP-12 クライオポンプ
- F-40L/HまたはF-70L/H圧縮機
- 3 m フレキシブルホース
- 3 m コールドヘッドパワーケーブル
- ツールキット
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仕様
| ポンプ速度 | Air | 3,600 L/s |
| 水 | 9,560 L/s | |
| アルゴン | 3,100 L/s | |
| 水素 | 7,300 L/s | |
| スループット | アルゴン | 12.6 torr-L/s (1000 sccm) |
| 排気容量 | アルゴン (at 1×10-6 torr) | 3,100 Std L |
| 水素 (at 5×10-6 torr) | 50 Std L | |
| クロスオーバー | 650 torr-liters | |
| クールダウンタイム20 Kまで | 90分 | |
| 重量 | 40.8 kg | |
| 寸法 (H) | 600 mm | |
| 推奨メンテナンス時間 | 13,000時間 | |
仕様は予告なく変更される場合があります
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