Marathon® CP-8LP クライオポンプ
Marathon® CP-8LPについて
Marathon CP-8LP クライオポンプは、Marathon CP-8 クライオポンプのロープロファイル版です。住友重機械工業株式会社のCH-204 10K 冷凍機を採用し、Displex®空気圧駆動技術により冷凍機内の摩耗部品点数を抑えています。真空を破らず、またポンプをチャンバーから取り外すことなく、現場で保守が可能です。水冷式ヘリウム圧縮機で動作します。
特長
- 左右いずれの構成にも対応する標準ロープロファイル設計
- 業界標準フランジ
- 標準手動操作
- Marathon®クライオポンプコントローラによるオプション完全自動操作
- 1台のF-70L/H圧縮機で2台のクライオポンプを運転
- Displex®技術
標準構成品
- CP-8LP クライオポンプ
- F-20LまたはF-70L/H圧縮機
- 3 m フレキシブルホース
- 3 m コールドヘッドパワーケーブル
- ツールキット
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仕様
| ポンプ速度 | Air | 1,800 L/s |
| 水 | 4,200 L/s | |
| アルゴン | 1,500 L/s | |
| 水素 | 3,000 L/s | |
| スループット | アルゴン | 11.0 torr-L/s (870 sccm) |
| 排気容量 | アルゴン (at 1×10-6 torr) | 1,600 Std L |
| 水素 (at 5×10-6 torr) | 23 Std L | |
| クロスオーバー | 220 torr-liters | |
| クールダウンタイム20 Kまで | 110分 | |
| 重量 | 17.9 kg | |
| 寸法 (HxL) | 186 x 565 mm | |
| 推奨メンテナンス時間 | 13,000時間 | |
仕様は予告なく変更される場合があります
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