SICERA® Smart KZ-20 クライオポンプ
KZ-20について
SICERA® Smart KZ-20 クライオポンプは、住友重機械工業株式会社のSICERA Smartシリーズ最大モデルです。PVD用途向けに特別設計されており、KZ-20独自のダブルインバータ技術により、生産性向上と省エネルギーを実現します。通常の熱負荷運転では、圧縮機1台あたり最大5台のクライオポンプを接続可能です。
標準構成品
- KZ-20 クライオポンプ
- CSW-61C/D 圧縮機
- RS-485ケーブル付きリモートクライオポンプコントローラ
- フレキシブルホース
- 入力電源ケーブル
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仕様
| Model | KZ-20 for PVD | |
| ポンプ速度 | 水 | 29,000 L/s |
| アルゴン | 6,700 L/s | |
| 窒素 | 8,000 L/s | |
| 水素 | 15,000 L/s | |
| スループット | アルゴン | 1,2 Pa•m3/s (700 sccm) |
| 排気容量 | アルゴン | 10,000 Std L |
| 水素 | 56 Std L | |
| クロスオーバー | 80.0 Pa•m3/s | |
| 基本圧力 | <1.0E-6 Pa | |
| クールダウンタイム20 Kまで1 | ≤180分 | |
| ウォームアップタイム290 Kまで1 | ≤85分2 | |
| 重量 | 78 kg | |
| 寸法 (長さx横幅x高さ) | 894 x 572 x 413 mm | |
| 取付フランジ | ISO 500 (クランプ式フランジ接続) | |
| 推奨メンテナンス時間 | 12,000時間 | |
2 ガスが吸収されていない場合の、280 Kまでのウォームアップ時間。
仕様は予告なく変更される場合があります
