SICERA® Ultra KV-10 インライン・コールドトラップ
KV-10について
SICERA® Ultra KV-10 インライン・コールドトラップは、住友重機械工業株式会社のSICERA Ultraシリーズにおける唯一の標準コールドトラップモデルです。チャンバーとターボ分子ポンプの間に設置され、追加ポートを必要とせずにポンプの水蒸気排気速度を補完します。KV-10独自のダブルインバータ技術により、単一の水冷式圧縮機でコールドトラップとクライオポンプの混合システム構成が可能となり、生産性の向上とエネルギー削減を実現します。
標準構成品
- KV-10 インライン・コールドトラップ
- TM-30またはTM-50圧縮機
- RS-485ケーブル付きリモートクライオポンプコントローラ
- フレキシブルホース
- 入力電源ケーブル
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仕様
| 水 ポンプ速度 | 6,000 L/s |
| 窒素伝導度 | 2,000 L/s |
| クールダウンタイム100 Kまで1 | ≤70分 |
| ウォームアップタイム310 Kまで2 | ≤80分 |
| 重量 | 32 kg |
| 寸法 (長さx横幅x高さ) | 607 x 375 x 206 mm |
| フランジ | ICF 305 (チャンバー側；ボルト締めフランジ接続) |
2 凝縮したガスは存在しません。
仕様は予告なく変更される場合があります
