Marathon® CP-20 クライオポンプ
Marathon® CP-20について
Marathon CP-20クライオポンプは、住友重機械工業株式会社のMarathon CPシリーズにおける最大のクライオポンプです。住友重機械工業株式会社のCH-210 10K冷凍機を搭載し、静音性に優れたWhisper®技術と、冷凍機内の摩耗部品数を抑えるDisplex®空気圧駆動技術を採用しています。真空を破ることやチャンバーからポンプを取り外すことなく、その場でのメンテナンスが可能です。水冷式ヘリウム圧縮機で作動します。
特長
- 業界標準フランジ
- 標準手動操作
- Marathon®クライオポンプコントローラによるオプション完全自動操作
- Displex®およびWhisper®技術
標準構成品
- CP-20 クライオポンプ
- F-70L/H 圧縮機
- 3 m フレキシブルホース
- 3 m コールドヘッドパワーケーブル
- ツールキット
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仕様
| ポンプ速度 | Air | 9,700 L/s |
| 水 | 29,100 L/s | |
| アルゴン | 8,300 L/s | |
| 水素 | 14,000 L/s | |
| スループット | アルゴン | 11.3 torr-L/s (895 sccm) |
| 排気容量 | アルゴン (at 1×10-6 torr) | 6,000 Std L |
| 水素 (at 5×10-6 torr) | 33 Std L | |
| クロスオーバー | 400 torr-liters | |
| クールダウンタイム20 Kまで | 190分 | |
| 重量 | 77.1 kg | |
| 寸法 (H) | 569 mm | |
| 推奨メンテナンス時間 | 13,000時間 | |
仕様は予告なく変更される場合があります
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