SICERA® Ultra KV-08 クライオポンプ
KV-08について
SICERA® Ultra KV-08クライオポンプは、住友重機械工業株式会社のSICERA Ultraシリーズにおける最小モデルで、PVD用途向けに設計されています。KV-08は従来モデルに比べ、圧縮機の消費電力低減とクライオポンプの排気容量増加を実現しています。
独自のダブルインバータ技術により、通常熱負荷運転において、1台のTM-30圧縮機に最大5台、または1台のTM-50圧縮機に11台のクライオポンプを接続でき、高い生産性と省エネを実現します。
標準構成品
- KV-08 クライオポンプ
- TM-30またはTM-50圧縮機
- RS-485ケーブル付きリモートクライオポンプコントローラ
- フレキシブルホース
- 入力電源ケーブル
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仕様
| ポンプ速度 | 水 | 4,000 L/s |
| アルゴン | 1,200 L/s | |
| 窒素 | 1,500 L/s | |
| 水素 | 2,200 L/s | |
| スループット | アルゴン | 1.2 Pa•m3/s (700 sccm) |
| 排気容量 | アルゴン | 1,600 Std L |
| 窒素 | 1,000 Std L | |
| 水素 | 12 Std L | |
| クロスオーバー | 20.0 Pa•m3 | |
| 基本圧力 | <5E-7 Pa | |
| クールダウンタイム20 Kまで1 | ≤75分 | |
| ウォームアップタイム290 Kまで1 | ≤45分 | |
| 重量 | 28 kg | |
| 寸法 (長さx横幅x高さ) | 612 x 448 x 230 mm | |
| 取付フランジ | ICF253 | |
仕様は予告なく変更される場合があります
