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SICERA Ultra KV-08 インラインコールドトラップ(薄型)

SICERA® Ultra KV-08 インラインコールドトラップ(薄型)

KV-08について

SICERA® Ultra KV-08 インラインコールドトラップは、住友重機械工業株式会社のSICERA Ultraシリーズにおける唯一の薄型コールドトラップモデルです。チャンバーとターボ分子ポンプの間に設置することで、追加のポートを必要とせずに、ポンプの水排気速度を補完します。KV-08独自のダブルインバータ技術により、1台の水冷式圧縮機でコールドトラップとクライオポンプの混在システム構成が可能となり、生産性の向上と省エネを実現します。

標準構成品

  • KV-08 インラインコールドトラップ(薄型)
  • TM-30またはTM-50圧縮機
  • RS-485ケーブル付きリモートクライオポンプコントローラ
  • フレキシブルホース
  • 入力電源ケーブル

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仕様

送水速度2,400 L/s
伝導度窒素1,600 L/s
アルゴン1,400 L/s
クールダウンタイム100 Kまで1≤35分
ウォームアップタイム290 Kまで1≤40分
重量31 kg
寸法 (長さx横幅x高さ)687 x 414 x 195 mm
フランジISO 200
1 稼働中のクライオポンプの数にかかわらず。

仕様は予告なく変更される場合があります

リソース

用途